Grabado seco de GaAs: influencia del bombardeo iónico
Empreu sempre aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem
http://hdl.handle.net/10045/4131
Títol: | Grabado seco de GaAs: influencia del bombardeo iónico |
---|---|
Autors: | Villalvilla, José M. |
Director de la investigació: | Vallés Abarca, José Antonio |
Centre, Departament o Servei: | Universidad de Alicante. Departamento de Física Aplicada |
Paraules clau: | Grabado de GaAs | Haces iónicos anchos | Bombardeo iónico |
Àrees de coneixement: | Física Aplicada |
Data de creació: | 1992 |
Data de publicació: | 1992 |
Data de lectura: | 15-de setembre-1992 |
URI: | http://hdl.handle.net/10045/4131 |
Idioma: | spa |
Tipus: | info:eu-repo/semantics/doctoralThesis |
Apareix a la col·lecció: | Tesis doctorals |
Arxius per aquest ítem:
Arxiu | Descripció | Tamany | Format | |
---|---|---|---|---|
Villalvilla-Soria-Jose-Moises.pdf | 5,2 MB | Adobe PDF | Obrir Vista prèvia | |
Aquest ítem està subjecte a una llicència de Creative Commons Llicència Creative Commons