Grabado seco de GaAs: influencia del bombardeo iónico
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http://hdl.handle.net/10045/4131
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| Campo DC | Valor | Idioma |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | Vallés Abarca, José Antonio | - |
| dc.contributor.author | Villalvilla, José M. | - |
| dc.contributor.other | Universidad de Alicante. Departamento de Física Aplicada | en |
| dc.date.accessioned | 2008-02-06T10:06:29Z | - |
| dc.date.available | 2008-02-06T10:06:29Z | - |
| dc.date.created | 1992 | - |
| dc.date.issued | 1992 | - |
| dc.date.submitted | 1992-09-15 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10045/4131 | - |
| dc.language | spa | en |
| dc.subject | Grabado de GaAs | en |
| dc.subject | Haces iónicos anchos | en |
| dc.subject | Bombardeo iónico | en |
| dc.subject.other | Física Aplicada | en |
| dc.title | Grabado seco de GaAs: influencia del bombardeo iónico | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/doctoralThesis | en |
| dc.rights.accessRights | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
| Aparece en las colecciones: | Tesis doctorales | |
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| Archivo | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
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