Grabado seco de GaAs: influencia del bombardeo iónico

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Title: Grabado seco de GaAs: influencia del bombardeo iónico
Authors: Villalvilla Soria, José Moisés
Research Director: Vallés Abarca, José Antonio
Center, Department or Service: Universidad de Alicante. Departamento de Física Aplicada
Keywords: Grabado de GaAs | Haces iónicos anchos | Bombardeo iónico
Knowledge Area: Física Aplicada
Date Created: 1992
Issue Date: 1992
Date of defense: 15-Sep-1992
URI: http://hdl.handle.net/10045/4131
Language: spa
Type: info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
Appears in Collections: Doctoral theses

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